YYVIP易游产品简介

　　YYVIP易游·(中国有限公司)官方网站膜厚度测量仪利用分光干涉原理精确测量光学或非光学薄膜厚度，测量分辨率达到纳米量级。该仪器具有测量迅速、操作简单、测量结果稳定（高再现性）、用户使用界面易于操作等特点，是目前市场上性价比优良的膜厚测量仪之一。可广泛应用于半导体、医疗和工业生产等领域的薄膜厚度测量。该膜厚仪使用紫外到近红外区域光源，测量厚度范围从m可选。可以测量的膜厚材料包括氧化物、氮化物以及保护膜层等常用薄膜材料。有多种机型可选，包括常规型、在线型、硅片厚度型、Mapping机型、反射率透过率及颜色机型等。

　　在被测量的薄膜上垂直照射可视光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层之间的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理，它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随薄膜的不同而变化，根据这一特性求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。